申请号：CN201811266539.6申请日：2018-10-29公开号：CN109443192B授权日：2020-12-22IPC分类号：G01B7/30,本发明公开了一种单晶硅方棒平面角角度测试装置及其测试方法，包括电容测量电路、控制器、电机驱动器、显示器，旋转台，电机，所述控制器与电容测量电路连接，所述控制器与显示器连接，所述控制器与电机驱动器连接。本方法可以提醒操作人员是否需要重新对单晶硅方棒进行滚磨修正的问题，提高了硅片的质量以及生产成品率。