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基于微观力学的Al/Ta金属多层膜形变损伤机制研究
来源: | 作者:牧星科技成果转化 | 发布时间: 2020-05-12 | 492 次浏览 | 分享到:
基于微观力学的Al/Ta金属多层膜形变损伤机制研究

课题编号

QN2017064

课题名称

基于微观力学的Al/Ta金属多层膜形变损伤机制研究

起止时间

2017.01-2018.12

下达单位

河北省高等学校科学技术研究项目

是否验收

验收证书编号

2019253

课题主要简介:
    
金属多层膜是微/纳电机械系统中电子元器件以及互连结构的重要组成部分。多层膜中组元的单层厚度由微米减小到纳米尺度,其力学行为将明显不同于块体材料和单层薄膜材料。金属多层膜材料力学行为的研究是提高先进薄膜材料服役性能的基础,而金属多层膜的尺度及界面效应是影响材料力学行为的关键因素,揭示此类材料形变过程中的微观组织结构演化、微观力学行为及形变机制,对于提高金属多层膜材料的服役性能尤为重要。本项目拟围绕“不同组元厚度多层薄膜在外加应力作用下晶体取向与微观应力演化规律及与形变机制/形变损伤的关联性”这一关键科学问题,以不同周期结构Al/Ta金属多层膜为研究对象,主要采用同步辐射X射线微束衍射实验手段,建立金属多层膜各组元层和组元间应力原位表征与测量新方法;开展综合微观力学的材料力学行为模拟方法研究,研究结果将为制备高性能金属薄膜提供重要的实验和理论基础。

课题主要成果:

R. Su, L. Li, Y.  D. Wang, Z. H. Nie, Y. Ren, X. Zhou, J. Wang. Intergranular stress study of  TC11 titanium alloy after laser shock peening by synchrotron-based  high-energy X-ray diffraction. AIP ADVANCES, 2018, 8: 055126.